Может ли быть диффузия у атомов?

Диффузия может быть как у молекул так и у атомов - у любых минимальных неделимых частиц вещества.

Диффу́зия — процесс взаимного проникновения молекул или атомов одного вещества между молекулами или атомами другого, приводящий к самопроизвольному выравниванию их концентраций по всему занимаемому объёму.